氬氣純度，通常采用氣相色譜儀進行分析。隨著我國經濟建設的發展，氬氣生產的單位愈來愈多，因此，選用合適的氬氣分析用氣相色譜儀成了一些單位迫切需要解決的問題。

　　高純氬氣相色譜分析儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業用氣體中痕量雜質的檢測。此儀器配備氬離子化(AID)檢測器，采用帶吹掃保護氣路的六通或十通閥。

　　許多大中型空分設備帶有提氬裝置，其生產的氬氣純度，對于空分設備制造廠來說，以出精氬塔的純度為考核要求，不計入壓氬、充灌等部分造成的影響。

　　但對于氬氣生產工廠來說，終產品有兩種：一種產品是液態氬。這種產品的純度基本上可和精氨塔純度保持一致,因為液態氫從精氬塔放入貯液槽的過程中受污染環節比較少;另一種產品是氣態氬。

　　作為載氣的高純氬氣以一定流速流經處在高頻振蕩電磁場中的石英管時，在管外施加1500V高電壓，使石英管內氬氣原子在100兆赫的高頻電磁場振蕩下運動，由于氬原子的電離能低于受振蕩后的平均自由程能量，因而氬原子在管內被電離形成離子、電子及中性粒子的混合氣體---等離子體，并且氬原子受激發放電產生弧光。當被測氣體經分離柱后進入檢測器中時，由于*性氣體雜質的分子N2，H2，CH4等吸收并粹滅弧光，而O2和CO分子受激發后產生增強弧光。所產生光的強度變化與被測成分濃度成正比，故可以借此進行雜質定量分析。