隨著氣體工業的飛速發展，氬氣在石油化工、冶金、電子、新材料等工業應用越來越廣，對氬氣純度的要求也越來越高。空分裝置帶有一套氬提純裝置，利用氧、氮提純過程中產生的粗氬，經純化系統加氫除氧后再進一步精餾制得。產品有氣、液態的純氬和高純氬。

　　按純度的等級來分，氬氣可分為純氬和高純氬。

　　純氬和高純氬的技術要求

　　氬氣質量的分析主要是測定氬氣中地雜質含量，然后以100%減去雜質的量得到其純度。由于氬氣中所含的雜質種類較多且大多為*性氣體，含量又極微少，因此，氬氣的質量檢驗難度較大。

　　純氬和高純氬的分析方法

　　國標規定的對氬氣中雜質分析的方法較繁瑣，所用分析儀器較多，不適用工廠大批量生產時的大工作量的檢測分析。在綜合國標要求的基礎上，經過資料檢索、咨詢及考察，高純氬分析色譜一次進樣能分析除水分外的其它全部雜質，滿足了對氬氣生產的需要。

　　氬氣攜帶少量水汽以一定流速流經處在高頻振蕩場中的石英管，管外施以1500V高壓，石英管內氬在100MHz高頻電磁場振蕩下運動，由于受振蕩氬的平均自由程能超過其電離能，氬被電離在管內，形成離子、電子、中性粒子的混合氣體一等離子體，氬受激放電產生弧光。有關參數在*條件下，高壓電路導通，調至一定放電電流，出現穩定的放電弧光。